CÁLCULO DA ESPESSURA E ÍNDICE DE REFRAÇÃO EFETIVO DE ESTRUTURAS BASEADAS EM SILÍCIO POR MEIO DO AJUSTE DO ESPECTRO DE REFLETÂNCIA

Resumo

A partir dos resultados obtidos após a análise das várias amostras, observamos que o processo do ajuste de curva para quantificar as propriedades ópticas e estruturais é uma ótima alternativa aos métodos destrutivos. Nessa tarefa, para sistemas compostos por várias fases, o método de Bruggeman tem se mostrado ser uma ótima ajuda. Contudo, a qualidade do ajuste das curvas depende das características das amostras, bem como da referência usada para realizar as medidas. Nesse sentido, é necessário tomar cuidado na interpretação dos resultados de modo a não confundir esses artefatos como parte da amostra.